螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。在半闭环系统中，定位精度很大程度上受滚珠丝杠精度的影响。尽管滚珠丝杠的精度很高，但总存在着制造误差。要得到超过滚珠丝杠精度的运动精度，必须采用螺距误差补偿功能，利用数控系统对误差进行补偿与修正。采用该功能的另一个原因是，数控机床经长时间使用后，由于磨损其精度下降。采用该功能进行定期测量与补偿，可在保持精度的前提下延长机床的使用寿命。

螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较，计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将误差以表格的形式输入数控系统中。数控系统在控制该轴运动时，会自动考虑到误差值，并加以补偿。

采用螺距误差补偿功能应注意以下几点：

1）对重复定位精度较差的轴，因无法准确确定其误差曲线，螺距误差补偿功能无法实现，即该功能无法补偿重复定位误差。

2）只有建立机床坐标系后，螺距误差补偿才有意义。

3）必须采用比滚珠丝杠精度至少高一个数量级的检测装置来测量误差分布曲线，一般常用激光干涉仪来测量。

对于螺距误差补偿，正确的测量误差曲线是关键。在进行测量前，必须先将数控系统中被补偿轴的反向间隙和螺距误差补偿参数单元清零，或使补偿轴的补偿功能失效，或将补偿比例因子设定为零，避免在测量各目标点位置误差值时，原补偿值仍起作用。上述工作完成后关机，进行回零操作，确保绝对坐标与机器坐标相同。

具体测量的步骤如下：

1）将激光干涉仪安装在某工作台的一侧，测定工作台上某特定点的初始距离。

2）在整个行程范围内，用数控指令移动工作台，每次移动相同距离，来确定轴向点的位置，这些点的数目由工作台行程大小和数控系统特点决定。

3）记录命令位置和激光干涉仪所测得的实际位置之间的偏差。

4）重复上述步骤三次以上，计算每轴向点的平均误差，画出误差曲线。

5）按照相应的分析标准（如VDI3441、JIS6330、GB10931--89等）对测量数据进行分析，可以先测量再补偿，补偿后再测量，直到达到机床精度的要求范围。

对于测得的误差数据，如果被测点数目不多，可以通过设置螺距误差参数的方法，根据数控系统的特点，将每一点的误差值储存在计算机的存储器单元中。